在燃燒過程中，NOX生成的途徑有3種:一是空氣中氮在高溫下氧化產生稱為熱力型NOX；二是由于燃料揮發物中碳氫化合物高溫分解生成的CH自由基和空氣中氮氣反應生成HCN和N，再進一步與氧氣作用以極快的速度生成NOX，稱為快速型NOX；三是燃料中含氮化合物在燃燒中氧化生成的NOX，稱為燃料型NOX。